三菱化學試制20mm×12mm大型m面GaN底板
上傳人:根津禎 上傳時間: 2007-09-20 瀏覽次數: 141 |
三菱化學試制出了尺寸約為長20mm×寬12mm的大尺寸m面GaN底板,并在于美國拉斯維加斯舉行的“ICNS-7”(2007年9月16~21日)上發表(演講序號:I1)。原產品尺寸約為長20mm×寬5mm,此次主要是加大了短的一邊。m面為非極性面,利用此次的底板可在GaN結晶的非極性面上制作出LED及半導體激光器等發光元件。該公司以前開發的m面底板被用于羅姆與東北大學的研究小組、以及美國加州大學圣巴巴拉分校(UCSB)的教授中村修二的研究小組等制作的GaN元件。
非極性面是與GaN結晶c面的極性面相互垂直的面。藍色LED及藍紫色半導體激光器等發光元件、面向無線基站的功率放大器電路、產業設備等的電源電路的晶體管等利用GaN系半導體的元件(GaN元件)一般都是在c面上制作而成的。利用非極性面,理論上將會提高GaN元件的性能。例如發光元件,可以提高發光效率。目前,在c面已經可以產品化2英尺的GaN底板,但m面底板還沒有這種尺寸的, 所以希望實現m面GaN底板的大型化。
首先從c面生長開始
三菱化學試制的m面底板首先在c面的垂直方向(c軸方向)通過HVPE法使GaN結晶生長,之后,按照與c面垂直方向切下GaN底板形成m面GaN底板。c面的垂直方向就成為m面底板的短邊方向。利用該手法加長m面底板的短邊需要增加c面底板的厚度。此前c面底板的厚度約為5mm。此次的試制品加厚至12mm。
另一方面,m面底板的長邊方向取決于c面底板的尺寸。此次利用的c面GaN底板的直徑為2英尺,長邊最長可達約50mm。但是,為防止底板曲翹及考慮到用戶的需求,將其縮短至約20mm。長邊的長度可在一定程度上任意改變。
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